無塵車間凈化對濕度的控制

      半導體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕(shi)度的目標值大約控制在(zai)30至(zhi)50%的范(fan)圍內，允(yun)許誤差(cha)在(zai)±1%的狹窄的范(fan)圍內，例如光刻區或者在(zai)遠紫外線處理(li)(DUV)區甚(shen)至(zhi)更小而在(zai)其(qi)他地方(fang)則可(ke)以放松到±5%的范(fan)圍內。
      近(jin)年(nian)，在這些規(gui)定范圍中保(bao)持處理空氣過程，相對濕度(du)有一(yi)系列(lie)可能使潔凈室總體表(biao)現下降的因素，其(qi)中包括：
      1、 細菌生長 ；
      2、工作(zuo)人員感(gan)到室溫舒適的范圍；
      3、出現靜電荷(he)；
      4、金(jin)屬腐(fu)蝕；
      5、水汽冷凝；
      6、光刻(ke)的退化；
      7、吸水性。
      細(xi)菌(jun)(jun)和其他生物污染霉(mei)菌(jun)(jun)，病毒(du)，真菌(jun)(jun)，螨蟲(chong)在(zai)(zai)相(xiang)(xiang)(xiang)對濕度(du)超過(guo)60%的(de)環境中可(ke)以(yi)(yi)活躍地繁(fan)殖。一些(xie)菌(jun)(jun)群在(zai)(zai)相(xiang)(xiang)(xiang)對濕度(du)超過(guo)30%時(shi)就可(ke)以(yi)(yi)增長。在(zai)(zai)相(xiang)(xiang)(xiang)對濕度(du)處于40%至(zhi)60%的(de)范(fan)圍之間時(shi)，可(ke)以(yi)(yi)使細(xi)菌(jun)(jun)的(de)影響(xiang)以(yi)(yi)及(ji)(ji)呼吸道感染降(jiang)至(zhi)最低。相(xiang)(xiang)(xiang)對濕度(du)在(zai)(zai)40%至(zhi)60%的(de)范(fan)圍同樣也是人(ren)(ren)類(lei)感覺(jue)舒適(shi)(shi)的(de)適(shi)(shi)度(du)范(fan)圍。濕度(du)過(guo)高會使人(ren)(ren)覺(jue)得(de)氣悶，而濕度(du)低于30%則會讓人(ren)(ren)感覺(jue)干燥(zao)，皮膚破裂，呼吸道不(bu)適(shi)(shi)以(yi)(yi)及(ji)(ji)情感上的(de)不(bu)快。
      高濕(shi)度(du)(du)實際上減小了無塵車間、潔(jie)凈室表面(mian)的(de)(de)靜(jing)電(dian)荷(he)積(ji)累──這是大家希望的(de)(de)結果。較低的(de)(de)濕(shi)度(du)(du)比較適合電(dian)荷(he)的(de)(de)積(ji)累并成(cheng)為(wei)潛在(zai)的(de)(de)具有(you)破壞性的(de)(de)靜(jing)電(dian)釋放源(yuan)。當相對(dui)(dui)濕(shi)度(du)(du)超過50%時(shi)(shi)，靜(jing)電(dian)荷(he)開始迅速(su)消(xiao)散(san)，但是當相對(dui)(dui)濕(shi)度(du)(du)小于30%時(shi)(shi)，它們可以在(zai)絕緣(yuan)體或者未接地(di)的(de)(de)表面(mian)上持續(xu)存(cun)在(zai)很(hen)長一段時(shi)(shi)間。
      相對濕度(du)(du)在(zai)35%到40%之(zhi)間(jian)可以(yi)作為一(yi)(yi)(yi)個令人滿(man)意的(de)(de)(de)折中(zhong)，半導體無塵車(che)間(jian)、潔凈(jing)室(shi)一(yi)(yi)(yi)般都使(shi)(shi)用額(e)外的(de)(de)(de)控制(zhi)裝(zhuang)置以(yi)限制(zhi)靜(jing)電(dian)荷(he)的(de)(de)(de)積累(lei)。很(hen)多化學反(fan)應的(de)(de)(de)速(su)度(du)(du)，包(bao)括腐蝕過程，將(jiang)隨著(zhu)相對濕度(du)(du)的(de)(de)(de)增高而加(jia)快。所有暴露在(zai)無塵車(che)間(jian)、潔凈(jing)室(shi)周圍(wei)空氣中(zhong)的(de)(de)(de)表面都很(hen)快地被覆(fu)蓋上(shang)至少一(yi)(yi)(yi)層(ceng)(ceng)(ceng)單(dan)分子(zi)層(ceng)(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)水(shui)。當(dang)這些(xie)表面是由可以(yi)與(yu)水(shui)反(fan)應的(de)(de)(de)薄金屬(shu)涂層(ceng)(ceng)(ceng)組成時，高濕度(du)(du)可以(yi)使(shi)(shi)反(fan)應加(jia)速(su)。幸運的(de)(de)(de)是，一(yi)(yi)(yi)些(xie)金屬(shu)，例如(ru)(ru)鋁，可以(yi)與(yu)水(shui)形成一(yi)(yi)(yi)層(ceng)(ceng)(ceng)保護(hu)型的(de)(de)(de)氧化物(wu)，并(bing)阻止進(jin)一(yi)(yi)(yi)步的(de)(de)(de)氧化反(fan)應但(dan)另一(yi)(yi)(yi)種情(qing)況是，例如(ru)(ru)氧化銅，是不具有保護(hu)能力(li)的(de)(de)(de)，因(yin)此(ci)，在(zai)高濕度(du)(du)的(de)(de)(de)環境中(zhong)，銅制(zhi)表面更(geng)容易受到腐蝕。
      由此看出，無塵車間(jian)對(dui)濕度(du)要求(qiu)的嚴格(ge)甚至(zhi)苛刻，而除(chu)濕機在濕度(du)控制方面(mian)很好的解決了這一(yi)問題，除(chu)濕機能從根(gen)本上解決無塵車間(jian)對(dui)溫濕度(du)的嚴苛要求(qiu)。